時間:2019-08-09 點(diǎn)擊: 次 來源:網(wǎng)絡(luò) 作者:佚名 - 小 + 大
超聲波清洗技術(shù)的未來發(fā)展 超聲波清洗技術(shù)經(jīng)過幾十年的理論實踐,在工藝和設(shè)備上都得到了很大的發(fā)展,不僅研發(fā)了大批新產(chǎn)品,也制訂了更為先進(jìn)的清洗工藝。
1.高頻超聲清洗 半導(dǎo)體硅片、太陽能電池硅片表面的超微污物粒子,如采用低頻超聲波,即使硅片擊碎,粒子依然附著其上,越是增加功率密度也沒任何效果。近來發(fā)展起來的兆赫高頻超聲清洗,其超聲頻率髙,實際上已不再是產(chǎn)生空化氣泡,而是高頻壓力波的擦洗作用,對污物的清除率也接近百分之百,并且對硅片損傷微乎其微。因此高頻清洗近來發(fā)展較快,雖然造價昂貴,但硅晶圓太陽能行業(yè)仍趨之若鶩。 2.聚焦式清洗 化纖行業(yè)使用的噴絲板、其上面密密麻麻的微細(xì)孔,以前恐怕只有人工用細(xì)針來捅穿堵塞物,即使采用常規(guī)的超聲清洗效果也不理想,主要是聲強(qiáng)達(dá)不到要求,而采用機(jī)械掃描聚焦式超聲清洗,達(dá)到較高的聲強(qiáng),在間隙脈沖狀態(tài)下,空化泡高密度的轟擊,噴絲板微孔內(nèi)的污物脫離,達(dá)到清理殘留物的效果。 3.多頻清洗 在一臺超聲波清洗機(jī)槽體內(nèi),安裝兩組或三組以上不同超聲頻率的換能器,由多臺超聲波發(fā)生器分別推動各自頻率的換能器,超聲波清洗的頻率高,在液體中的空化密度大但空化強(qiáng)度低,而超聲波清洗的頻率低則正好相反,空化密度小但空化強(qiáng)度高,由于低頻超聲波的強(qiáng)度高,有利于物體表面清洗,高頻超聲波空化密度高,穿透細(xì)孔、縫隙、凹槽結(jié)構(gòu)的能力強(qiáng)。因此在一臺超聲波清洗設(shè)備中應(yīng)用多種頻率的超聲波,就解決了一個頻率因駐波場造成的清洗不均勻問題。 4.掃頻和跳頻清洗 掃頻清洗和跳頻清洗都是為了改善清洗槽中的聲場結(jié)構(gòu),掃頻清洗解決了清洗槽的駐波場,使清洗更均勻;而跳頻和多頻一樣兼顧到高低頻清洗,不同的是跳頻用的是一個換能器和一個發(fā)生器,其換能器本身具有兩個或多個諧振頻率,在第一諧振點(diǎn)帶寬內(nèi)作連續(xù)的頻率變化,然后跳到另一帶寬內(nèi)進(jìn)行掃頻清洗,屬于高中低頻交替進(jìn)行的清洗方式,這就是雷士超聲已實現(xiàn)一臺超聲波發(fā)生器驅(qū)動一種換能器的多種頻率,并可實現(xiàn)頻率自由切換。
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